采用加碳型氮氣純化裝置對氮氣進(jìn)行提純。鈀碳纖維脫氧工藝的原理為：制氮機制出的純度為99.9%的氮氣經(jīng)加熱后進(jìn)入裝有鈀碳纖維的脫氧器內，氮氣中的氧和載有催化劑的碳在催化劑鈀的作用下發(fā)生如下化學(xué)反應： C + O2 = CO2

在催化劑的作用下，其化學(xué)反應完全，脫氧后氮氣中殘氧含量可小于3ppm。脫氧后的氮氣經(jīng)冷卻后進(jìn)入裝有分子篩的吸附器內，氮氣中的水分和CO₂被分子篩深度吸附，經(jīng)過(guò)濾后即可獲得高純度的氮氣。該工藝優(yōu)點(diǎn)為產(chǎn)品氮氣中無(wú)氫含量，特別適用于對氫含量有嚴格要求場(chǎng)合。但脫氧器內的脫氧劑（鈀碳纖維）為消耗型，我們?yōu)橘F公司設計的此套裝置的脫氧劑更換周期為三個(gè)月，使用三個(gè)月后便可通過(guò)切換除氧器來(lái)保證連續生產(chǎn)，另一反應完全的除氧器則需重新更換除氧劑，西斯氣體為考慮到換料的方便性，設計進(jìn)料與放料口，便換料過(guò)程簡(jiǎn)單化（每次換料僅需5分鐘）。

加碳型氮氣純化流程圖

▲西斯氣體采用催化和化學(xué)吸附工藝聯(lián)用，進(jìn)行氮氣純化，也可用于氬
氣純化。
▲采用專(zhuān)利鈀催化劑，純化深度高，抗原料氣波動(dòng)能力強
（200%）。非消耗型填料，使用壽命長(cháng)。
▲進(jìn)口潔凈管道、閥門(mén)，Swagelok全自動(dòng)軌道焊，專(zhuān)利內加熱
拋光反應器，全面保證產(chǎn)品質(zhì)量。
▲集約化箱體包裝，全自動(dòng)運行。
應用領(lǐng)域：
▲高純單晶硅、晶片外延、大規模集成電路、光電生產(chǎn)等電子
行業(yè)氣體終端純化。
▲氣體行業(yè)超純氣體生產(chǎn)、分析零點(diǎn)氣制備。
▲鋼鐵、石化行業(yè)氮氣純化。
工作壓力：0.6~16Mpa 處理量：10~8000Nm3/h 顆粒度：≤0.01μm